对静电有严格要求 在微电子器件生产过程中,各种因素产生的静电电压,西安净化,往往会超过电子器件对静电的灵敏度范围,导---子设备出现故障,无尘净化,损坏设备内部各元器件,引起设备误动。
局部净化采用局部净化设备,在一般空调环境中实现。由于局部净化设备一般均由工厂生产,设备高,又可加快现场施工速度,在改建工程中可以优先考虑这种方案。在洁净室体积确定的情况下,换气次数由该室的送风量决定
由风速、风量、系统损耗、确定风管截面积。该设计已经比较成熟的是全室净化、局部净化(包括全室净化和局部净化相结合)以及洁净隧道三种净化处理方式,工程设计中应结合具体情况选择其中一种或两种净化方式作为设计方案。
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